1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A).

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了.

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa.

4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的*大值:
(1)補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和.
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3.
(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護,寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施.無塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項*大值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負(fù)荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量.

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